Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния icon

Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния




НазваВлияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния
Дата24.09.2012
Розмір445 b.
ТипИсследование


ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ ФОСФОРА НА СТРУКТУРНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ В ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЯХ МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ


Цель работы

  • Исследование структурных изменений в приповерхностных слоях монокристаллов Si после имплантации ионов фосфора.

  • Энергия имплантованных ионов - Е=180 кэВ, доза - D=81014 см-2



Для реализации цели:

  • Использовано методы рентгеновской топографии и двухкристального спектрометра;

  • Использовано численные методы решения системы дифференциальных уравнений, описывающие процессы рассеяния рентгеновских лучей в искаженных кристаллах







Топография монокристалов Si



Атомно-силовая микроскопия образца Si



Схема трехосного рентгеновского дифрактометра

  • Високоразрешающий трехосный рентгеновский дифрактометр PANalytical X’Pert MRD PRO. используется для измерения кривых дифракционного отражения (КДО). На трехосном дифрактометре фирмы “Philips” находится: на первой оси- германиевый монохроматор из четырехкратным отражением, на второй – исследуемый образец, на третьей кристалл - анализатор .



Кривые дифракционного отражения монокристалла Si





Выводы:

  • .Воздействие ионной имплантации на поверхность образца приводят к изменению характеристик и формы кривых качания, особенно их “хвостов”, относительно исходной части образца. Наблюдается также незначительное увеличение полуширины кривых качания и отношения интегральной интенсивности к высоте максимума кривой.

  • Из полученного распределения имплантированных ионов следует, что максимальное значение концентрации имплантанта n=5.75·1019 см-3 наблюдается на глубине порядка ~2500Å.

  • Исходя из численных решений уравнений Такаги – Топена, а также из расчетов на основании обобщенной динамической теории дифракции рентгеновских лучей построен профили деформации в поверхностных слоях кремния

  • Оценены средний радиус и концентрация микродефектов: дискообразные кластеры – размер ~0,5 мкм, концентрация ~ 107÷108 см-3; сферические кластеры – размер ~0,011 мкм, концентрация ~1012÷1013 см-3 ; дислокационные петли – размер ~0,7 мкм, концентрация ~108÷109 см-3

  • Определенная с помощью атомно-силовой микроскопии высота характерного рельефа неровностей на имплантированной ионами поверхности, равна ~0,273 нм



Схожі:

Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconУдк. 621. 315. 592 Влияние оксидного покрытия на фотопроводимость структур макропористого кремния
Для повышения стабильности применяется пассивация поверхности структур пористого кремния путем термического окисления. В данной работе...
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconВлияние способа очистки поликристаллического кремния на потери мощности фэп
Запорожский национальный университет, ул. Жуковского 66, Запорожье, 69600 Украина
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconВлияние поверхностных плазмонов на фотолюминесценцию ag-nc-Si-SiOx структур
В данной работе исследована возможность такого связывания путем изучения спектров излучения Ag-nc-Si-SiOx структур
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconЗадачи для выполнения контрольной работы
Для расчетов следует использовать таблицу Проанализировать структурные изменения совокупных сменных и постоянных затрат в совокупных...
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconВлияние анаприлина на кровоток и реабсорбцию натрия в почечных канальцах крыс грибова И. В., Галян Л. С., студ. 3-го курса
Для изучения кровотока в разных зонах почечной ткани использовали метод импеданской реоплетизмографии. Было получено, что при введении...
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconСтромально-сосудистые дистрофии актуальность темы
Эти структурные изменения могут развиваться либо в результате накопления в строме поступающих из крови и лимфы продуктов метаболизма...
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconСтромально-сосудистые дистрофии актуальность темы
Эти структурные изменения могут развиваться либо в результате накопления в строме поступающих из крови и лимфы продуктов метаболизма...
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconТаблица. Влияние факторов на изменение спроса на новую продукцию
Оцените тенденции изменения спроса с помощью критериев: “прямая”, “обратная”, “специфическая”. Выставьте их в графе таблицы
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconМіністерство освіти І науки україни кременчуцький національний університет імені михайла остроградського
Исследование влияния на погрешность измерения диаметра слитка кремния осаждения пленки монооксида кремния
Влияние имплантации ионов фосфора на структурные изменения в поверхностных слоях монокристалла кремния iconОсновные стратегии организационных изменений ситуация Примеры процесса изменения в зависимости от скорости и сложности изменения
Ситуация Примеры процесса изменения в зависимости от скорости и сложности изменения
Додайте кнопку на своєму сайті:
Документи


База даних захищена авторським правом ©zavantag.com 2000-2013
При копіюванні матеріалу обов'язкове зазначення активного посилання відкритою для індексації.
звернутися до адміністрації
Документи