1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon

1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи




Скачати 30.52 Kb.
Назва1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи
Дата02.08.2012
Розмір30.52 Kb.
ТипДокументи

1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи.

Розробка двозондової системи вимірювання електричних характеристик та контролю суцільності надтонких провідних плівок.


2. Автори.

К. ф.-м. наук, доц., зав. каф. фізики напівпровідників Яновський Олександр Сергійович, доц. каф. фізики напівпровідників Ананьїна Ольга Юріївна, аспірант кафедри ФН Томілін Сергій Володимирович, студент ІІІ курсу фізичного факультету ЗНУ Томіліна Ольга Андріївна.


3. Основні характеристики, суть наукових результатів роботи.

Розроблена система відноситься до галузі мікро- та наноелектроніки, а саме до систем вимірювання електричних характеристик та контролю суцільності структурованих надтонких провідних плівок на напівпровідникових підкладках. Система містить: предметний столик, що складається з двох частин, в яких виконано наскрізні співвісні прорізи, та станини з мікрометричними гвинтами, причому нижня частина столика встановлена на станину, а верхня має змогу вертикального переміщення вздовж направляючих відносно нижньої; дві автономні системи управління зондами; два голчасті зонди, які мають спіральні пружинні ділянки та мікрометричне загострення; електричну схему підключення зондів для дослідження вольт-амперних характеристик, яка складається з джерела живлення, цифрового вольтметра та амперметра. Система призначена для оцінки провідних властивостей тонкоплівкових покриттів, визначення електричних властивостей контакту провідної плівки з напівпровідниковою підкладкою та ступеня структурованості (суцільності) плівки. Система забезпечує вимірювання електричних характеристик та дозволяє здійснювати контроль суцільності надтонких провідних плівок на напівпровідникових підкладках, в тому числі, і для зразків неоднорідних провідних покриттів з можливістю сканування вздовж зразка.

Наявність у запропонованій системі двох автономних систем управління зондами дозволяє позиціонувати кожен зонд відносно досліджуваного зразка. Наявність двох голчастих зондів, які мають спіральні пружинні ділянки та мікрометричне загострення, дозволяє контролювати та відтворювати параметри контакту зондів зі зразком. Наявність предметного столика, який складається з двох частин (нижньої встановленої на станину з мікрометричними гвинтами та верхньої рухомої відносно нижньої) дозволяє переміщувати зразок відносно зондів та виконувати сканування вздовж зразка.


^ 4. Патенто-, конкурентоспроможні результати.

Можливе отримання патенту на винахід на вищезазначену систему та на спосіб визначення ступеня структурованості надтонких провідних покриттів на напівпровідникових та діелектричних підкладках. Запропонована система відносно дешева у виготовленні та проста у використанні, в разі необхідності можливе серійне виробництво. Система може бути модернізована для роботи зі зразками як на напівпровідникових так і на діелектричних підкладках, в тому числі і для вимірювання параметрів наноструктурованих надтонких провідних плівок.


^ 5. Порівняння із світовими аналогами.

Порівняння запропоновану систему можна з двозондовою системою вимірювання питомого опору напівпровідникових структур. з використанням голчастих електричних зондів (Л.П. Павлов / Методы измерения параметров полупроводниковых материалов / 2-е изд. – М.: Высшая школа, 1987г. – 239с., С. 7), яка включає два притискних голчастих зонда з мікрометричним загостренням та електричну схему підключення зондів, яка складається з джерела живлення, цифрового вольтметра та амперметра.

Спільними, з рішенням, що заявляється, ознаками, є використання двох притискних голчастих зондів з мікрометричним загостренням та електричної схеми підключення зондів, що складається з джерела живлення, цифрового вольтметра та амперметра.


^ 6. Економічна привабливість наукових результатів роботи для просування на ринок, впровадження та реалізації, показники, вартість.

Розроблена система знаходиться в стадії експериментальних досліджень, тому промислова собівартість наразі не відома. Система потребує мінімальних затрат на обслуговування, компактна, має величезний потенціал для модернізації.


^ 7. Галузі, міністерства, відомства, підприємства, організації, де можна реалізувати наукові результати роботи.

Система може бути використана в галузі мікро- та наноелектроніки для експериментаторсько-дослідницької роботи, для впровадження на виробництві для проведення експрес-аналізу промислових зразків тонкоплівкових провідних покриттів (нанокаталізатори, оптичні системи, енергозберігаючі технології і т.і.), для методично-навчального використання в освітніх установах МОНМСУ.


Адреса:

69600, Запоріжжя, вул. Жуковського, 66

Телефон: 061 2287592, E-mail: yanovsky@znu.edu.ua

Схожі:

1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи
Дискретна математика та її застосування до економіко-математичного моделювання та інформаційних технологій
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи
Пошук І дослідження організаційно-економічних діагностичних ознак в управлінні багатофакторними виробничими та сервісними системами...
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи
Методи нелінійної динаміки, принципи симетрії та дискретні еволюційні моделі пошуку оптимальних рішень в умовах невизначеності
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи iconФорма технологічної пропозиції щодо комерціалізації завершеної несекретної науково-дослідної, дослідно-конструкторської, дослідно-технологічної роботи
Виберіть з додатку 2 І впишіть 5 ключових слів 2,3 рівня з «Класифікатора технологічних ключових слів»
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи. «Громадське й культурне життя української діаспори»
«Громадське й культурне життя української діаспори»; «Історія словотворення: іменникові суфікси 11-13 ст.»
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи iconПоложення про науково-дослідну лабораторію ( номер та назва науково-дослідної лабораторії) Національного університету " Львівська політехніка " Загальні засади
Науково-дослідна лабораторія (номер та назва науково-дослідної лабораторії) (далі – ндл) є структурним підрозділом
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon1. назва проекту пріоритетний напрям розвитку науки І техніки
Вид проекту прикладна науково-дослідна робота, дослідно-конструкторська або дослідно-технологічна робота (зазначити необхідне)
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи icon1. назва проекту пріоритетний напрям розвитку науки І техніки
Вид проекту прикладна науково-дослідна робота, дослідно-конструкторська або дослідно-технологічна робота (зазначити необхідне)
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи iconПоложення про відділ держбюджетних науково-дослідних та дослідно-конструкторських робіт І студентської науки науково-дослідної частини Дніпропетровського національного університету залізничного транспорту імені академіка В. Лазаряна
move to 0-383010
1. Назва науково-дослідної, дослідно-конструкторської роботи iconТема науково-дослідної роботи. Розділ, що зараз виконується. Звіти з науково-дослідної роботи
Тема Інтегративні технології формування І розвитку професійних та особистісних якостей фахівців
Додайте кнопку на своєму сайті:
Документи


База даних захищена авторським правом ©zavantag.com 2000-2013
При копіюванні матеріалу обов'язкове зазначення активного посилання відкритою для індексації.
звернутися до адміністрації
Документи