Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем icon

Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем




Скачати 484.17 Kb.
НазваPacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем
Сторінка1/4
Дата29.06.2012
Розмір484.17 Kb.
ТипДокументи
  1   2   3   4


PACS numbers:


Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем


С.І.Проценко, І.В.Чешко, Д.В.Великодний, І.В.Пазуха, Л.В.Однодворець, І.Ю.Проценко, О.В.Синашенко


Сумський державний університет,

вул. Римського-Корсакова, 2, 40007, Суми, Україна

e-mail: protsenko@aph.sumdu.edu.ua


Представлені узагальнені літературні дані та результати власних експериментальних досліджень структурно-фазового стану, стабільності інтерфейсів та електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору (ТКО) і коефіцієнт поздовжньої тензочутливості (КТ))двошарових плівкових систем Cu/(Co, Ag або Au); Cu/(Cr або Fe) та Fe/Cr. Вибір вказаних систем пов'язаний із стабілізацією в них різних структурно-фазових станів: гранульовані тверді розчини (системи на основі Cu і Co, Ag або Au); твердий розчин (Fe/Cr); двошарові системи із збереженням індивідуальності окремих шарів (біпластина) (системи Cu/Cr i Cu/Fe (до 700 К)). Експериментальні результати з ТКО і КТ задовільно або добре узгоджуються із співвідношеннями для ТКО і КТ біпластини, плівкового вплаву або двошарової системи із проміжним шаром твердого розчину біля інтерфейсу. Це служить додатковим аргументом на користь висновків про структурно-фазовий стан двошарової системи.


Представлены обобщенные литературные данные и результаты собственных экспериментальных исследований структурно-фазового состояния, стабильности интерфейсов и электрофизических свойств (термический коэффициент сопротивления (ТКС) и коэффициент продольной тензочувствительности (КТ)) двухслойных пленочных систем Cu/(Co, Ag или Au); Cu/(Cr или Fe) и Fe/Cr. Выбор указанных систем связан со стабилизацией в них различных структурно-фазовых состояний: гранулированные твердые растворы (системы на основе Cu и Co, Ag или Au); твердый раствор (Fe/Cr); двухслойные системы с сохранением индивидуальности отдельных слоев (бипластина) (системы Cu/Cr и Cu/Fe (до 700 К)). Экспериментальные результаты для ТКС и КТ удовлетворительно или хорошо согласовываются с соотношениями для ТКС и КТ бипластины, пленочного сплава или двухслойной системы с промежуточным слоем твердого раствора вблизи интерфейса. Это служит дополнительным аргументом в пользу выводов о структурно-фазовом состоянии двухслойной системы.


The presented is common literary data and results of own experimental researches of the structure and phase state, stability of interfaces and electrophysical properties (thermal coefficient of resistance (TCR) and gauge factor (GF)) of the double-layer film systems of Cu/(Co, Ag or Au); Cu/(Cr or Fe) and Fe/Cr. The choice of the indicated systems is related to stabilizing in them of the different structure and phase states: granular solid solutions (systems on the basis of Cu and Co, Ag or Au); solid solution (Fe/Cr); the double-layer systems are with saving of individuality of separate layers (biplate) (systems of Cu/Cr and Cu/Fe (to 700 к)). Experimental results for TCR and GF satisfactorily or well conform to correlations for TCR and GF of biplate, film alloy or double-layer system with the intermediate layer of solid solution near an interface. It serves as an additional evidence in behalf of conclusions about the structure and phase state of the double-layer system.


^ Ключові слова: інтерфейс, структурно-фазовий стан, твердий розчин, гранульований сплав, ТКО, коефіцієнт тензочутливості.


Key worlds: interface, structural and phase state, solid solution, granule allow, TCR, gauge factor.


1. ВСТУП


Підвищений інтерес до нанорозмірних і нанокристалічних матеріалів обумовлений багатьма причинами, одна із яких полягає в тому, що змінюючи концентрацію і розмір наночастинок, товщину окремих шарів та їх чергування, можна суттєво впливати на фізичні властивості, в тому числі електрофізичні та магніторезистивні. Яскравим прикладом таких змін може бути явище гігантського магнітного опору (ГМО), яке спостерігається не тільки у мультишарах, але і в плівкових гранульованих сплавах. Такі наноструктури з розподіленими в немагнітній матриці гранулами (розмір ~ 1 нм) магнітної фази формуються [1], як правило, шляхом одночасної конденсації двох компонент із обмеженою розчинністю в масивному стані (прикладом гранульованого плівкового сплаву може служити модельна система на основі Co і Cu (більш детально див., наприклад, [2]). Однією із проблем нанокристалічного матеріалознавства є нестабільність плівкових систем у зв’язку із можливістю протікання рекристалізаційних процесів навіть при кімнатній температурі. Крім цього, інтенсивні процеси взаємної дифузії атомів можуть обумовити не тільки розмиття меж поділу окремих шарів (інтерфейсів), але і спричинити фазоутворення (в тому числі і стабілізацію гранульованого сплаву) по всьому об’єму плівкової системи. Для мінімізації впливу цих факторів застосовуються різні експериментальні прийоми (конденсація бар’єрних шарів, низькотемпературне оброблення та ін.), в т.ч. і підбір окремих компонентів, які у відповідності з діаграмами стану мають обмежену обґємну розчинність. Але останній фактор малоефективний у зв’язку із відомим [3, 4] термодинамічним ефектом, згідно з яким у високодисперсних системах розчинність обмежено розчинних компонентів завжди збільшується у порівнянні з масивними зразками. Підтвердженням цього служать результати робіт [5 - 8]. Згідно [5], розчинність атомів Cu у плівці Ag має величину 15 – 17 ат.% при товщині плівкового зразка d 7 нм і 6 ат.% при d 27 нм, в той час як у масивних сплавах гранична розчинність при Т 300 К має величину 0,35 ат.%. Аналогічні результати отримані в роботах [7, 8], згідно яких розчинність атомів Со у плівці Au складає 11 ат.%, а у плівці Ag – 8 ат.%. Автори [9 - 12] (див. також [2]) спостерігали утворення ГЦК твердого розчину (т.р.) атомів Со у плівці Cu (на думку [11] він повинен бути метастабільним, оскільки розчинність досягає величини 44 ат.%) із стабілізацією надлишкового Со у вигляді гранул гексагональної фази.

Крім цього термодинамічного фактору, велику роль у взаємній розчинності атомів відіграє режим термооброблення плівкових зразків, який спричиняє рекристалізацію. Автори [13] помітили, що при рекристалізації двошарових плівок Cu/Cr в об’ємі великих зерен Cu відбувається сегрегація («захоплення») атомів Cr до 20 ат.% (при обємній розчинності в масивних зразках ~ 0,1%), хоча через слабку рекристалізацію зерен Cr зворотній процес не спостерігається. Аналогічну особливість рекристалізації спостерігали автори [14] на прикладі багатошарової системи, фрагментом якої виступала двошарова плівка Cr/Ni. Індивідуальність окремих шарів (тобто стабільність інтерфейсів) зберігається до Тв 670 К, а при більш високих температурах відпалювання – починається інтенсивна дифузія атомів Cr у плівку Ni, а потім і перемішування атомів.


^ 2. СТАБІЛЬНІСТЬ ІНТЕРФЕЙСІВ ТА ІНТЕРФЕЙСНЕ РОЗСІЮВАННЯ ЕЛЕКТРОНІВ


Таким чином, із наведених даних можна зробити висновок, що характер діаграм стану масивних зразків не завжди може бути критерієм підбору компонентів багатошарових плівок із стабільними і якісними (мала шорсткість) інтерфейсами. Автори [15] детально вивчали питання про структуру інтерфейсів в металевих гетероструктурах Fe/Nb/Fe, Fe/V/Fe та Fe/Pb/Fe, використовуючи методи малокутової рентгенографії і вимірювання намагніченості насичення. Було встановлено, що найвища якість інтерфейсів (шорсткість   0,3 нм) має місце в системі Fe/V/Fe, компоненти якої мають необмежену розчинність (утворюють безперервний ряд т.р.). Відмітимо, що у роботі [16] методом вторинно-іонної мас-спектрометрії спостерігався різкий перехід від шару Cr до Fe у плівковій системі Fe/Cr/П (П-підкладка) за рахунок обмеженої розчинності атомів Cr у плівці Fe і практично необмеженої зворотної розчинності. Цим і можна пояснити, що у цих двошарових плівках при послідовній конденсації утворюється ОЦК т.р. (-Fe, Cr) із параметром а = 0,289 нм [17]. У випадку системи Fe/Nb/Fe, компоненти якої мають обмежену розчинність і утворюють дві інтерметалевих сполуки, якість інтерфейсів виявилася низькою (  0,6 нм).Аналогічні результати отримані авторами [18] на прикладі плівкової системи Ag/Co, компоненти якої мають обмежену розчинність [8] (шорсткість інтерфейсів   0,5 – 4,0 нм). При повній відсутності розчинності, як це має місце у системі Fe/Pb/Fe, можна отримати різкий перехід від одного до другого шару, але геометрична шорсткість інтерфейсів дуже значна. Очевидно подібні результати можна отримати і у випадку систем Fe/Cu [19] та Co/W [20].

Як і у випадку систем на основі Fe і V або Fe і Cr у мультишарах Fe/W добре зберігається індивідуальність окремих шарів [20].

Питання про стабільність інтерфейсів та розсіювання на них носіїв електричного струму надзвичайно важливе з точки зору коректного трактування результатів дослідження електрофізичних (питомий опір, термічний коефіцієнт опору (ТКО), тензочутливість) і магнітотранспортних властивостей та апробації різних теоретичних моделей [21] для цих явищ, які будуються, виходячи із моделі багатошарової плівкової системи як паралельного з’єднання окремих шарів. У попередніх наших роботах [22, 23] була здійснена оцінка впливу інтерфейсного розсіювання електронів на величину питомого опору і ТКО [22] та на величину коефіцієнта тензочутливості (l) [23]. У першому випадку суть методики ґрунтується на високоточному вимірюванні питомого опору або ТКО двох металевих зразків однакової товщини, один із яких є одношаровою плівкою, а другий – двошаровою плівковою системою, в якій штучно утворена внутрішня межа поділу шляхом зупинки конденсації плівки на певний час. Методика оцінки внеску інтерфейсного розсіювання у величину питомого опору чи ТКО вимагає жорсткого виконання певних умов: високоточне вимірювання опору і товщини; стале значення швидкості конденсації; близькість величини концентрації та енергії активації заліковування дефектів кристалічної будови, які отримуються шляхом побудови спектрів дефектів за методикою Венда; ідентичність розподілу кристалітів за розмірами і т.д. (більш детально див. [22]). Було отримано, що у випадку плівок Cu товщиною 60 – 90 нм інтерфейсне розсіювання електронів приводить до збільшення питомого на 12 – 21% і до зменшення ТКО на 9 – 20%. У роботі [23] біли проведені аналогічні дослідження впливу інтерфейсного розсіювання на величину l. На прикладі тришарової плівкової системи Cu/Sc/Cr/П було отримано, що l одношарових плівок, які входять як компоненти у тришарову систему, у декілька разів менше від l усієї плівкової системи. Так, для системи Cu(120)/Sc(70)/Cr(75)/П l = 7,7, а для відношення  0,16 (Cr); 0,10 (Sc) та 0,27 (Cu). Кількісними характеристиками інтерфейсного розсіювання електронів є опір (Rinf) або питомий опір (?inf), який пов'язаний із цим механізмом розсіювання та коефіцієнт проходження електроном інтерфейсу (Q). У зв’язку з важливістю цієї проблеми її вивченню присвячена велика кількість робіт (огляд деяких із них представлений у нашій роботі [24]). Для отримання співвідношення для Rinf автори [25] використали напівкласичне наближення Больцмана в геометрії, коли струм перпендикулярний поверхні інтерфейсу, в той час як автори [26] - напівфеноменологічний підхід для оцінки ?inf, скориставшись співвідношенням для питомої провідності двошарової плівки, яке запропоноване авторами роботи [27]. На прикладі мультишарів Ti/Al було встановлено, що при (d – товщина шару, 0 – середня довжина вільного пробігу електронів (СДВП) в ньому) від 0,1 до 1,0 внесок ?inf у загальний питомий опір від 3 до 5 разів менший у порівнянні із внеском зерномежевого або поверхневого розсіювання електронів. Майже однаковий внесок у питомий опір ці три механізми розсіювання дають лише при k ? 9, тобто при великих товщинах (при Т  const) або при високих температурах (при  const).

Робота [28] є однією з перших, в якій здійснена вдала спроба вивчити інтерфейсне розсіювання електронів у тришарових полікристалічних плівках Au/X/Au (X = Fe, Co і Ni). В основу аналізу покладена відома теоретична модель для ТКО двошарових плівок Р. Дімміха у граничному випадку, коли товщина Х-шару прямує до нуля. Особливість підходу автора [28] полягає в тому, що на основі залежності питомої провідності тришарової плівки від товщини проміжного шару визначається сумарна величина (p+Q), де p – коефіцієнт дзеркальності зовнішніх поверхонь плівки. Причому, цю суму можна визначити як у фуксівському, так і в маядасівському наближенні (більш детально див. [24]). В останньому випадку отримуються більш коректні величини (p+Q) : 0,6 (інтерфейс Au/Fe); 0,2 (Au/Co) і 0,5 (Au/Ni). Ми скористалися методикою [28] для знаходження (p+Q) у випадку системи Fe/Cu/Fe [29] і отримали величину 0,5 – 0,6, що узгоджується із [28]. Враховуючи, що у полікристалічних плівках коефіцієнт дзеркальності р ~ 0,1, можна оцінити величину Q для вказаних вище інтерфейсів: 0,5 (Au/Fe); 0,1 (Au/Co); 0,4 (Au/Ni) та 0,4 – 0,5 (Fe/Cu). Використовуючи результати роботи [30], в якій приведені розрахунки коефіцієнтів проходження межі зерен (r) в плівках Cr, Co і Cu за допомогою моделі ізотропного розсіювання та тривимірної моделі, можна порівняти величини Q і r між собою. Так, в залежності від середнього розміру зерна, величина r лежить в межах 0,85 – 0,95 (Cr); 0,56 – 0,87 (Со) і 0,42 – 0,81 (Cu). Таким чином, порівняння величини Q і r приводить до висновку, що структура інтерфейсів і меж зерен має різний характер з точки зору проходження електронів через них.

Підсумовуючи сказане вище, мету даної роботи можна сформулювати таким чином: проведення комплексних досліджень кристалічної структури, процесів фазоутворення і електрофізичних властивостей (ТКО і коефіцієнт тензочутливості) двошарових плівкових систем (Cu/(Co, Ag або Au), Fe/Cr та Cu/(Cr або Fe)) і порівняння їх із розрахунковими на основі різних феноменологічних теоретичних моделей, що дозволить зробити висновок про стабільність або розмиття інтерфейсів в результаті збереження індивідуальності або утворення т.р. біля інтерфейсу чи по всьому об’єму плівкової системи.


^ 3. СТРУКТУРНО-ФАЗОВИЙ СТАН


3.1. Плівкові системи, в яких стабілізуються тверді розчини


Гранульовані сплави (ГС) постійно знаходяться в полі зору дослідників завдяки спостереженню в них ефекту ГМО. Їх зазвичай отримують шляхом одночасної конденсації магнітної і немагнітної компонент з обмеженою взаємною розчинністю. До найбільш вивчених відносяться CoxCu1-x, CoxAg1-x, (NiFe)xAg1-x та ін. У роботах [31-34] представлені результати дослідження ГМО, магнітотранспортних та ряду інших властивостей сплаву , CoxAg1-x. Було отримано [34], що вже при кімнатній температурі в наногранулярній структурі , Co/Ag спостерігається відносне збільшення опору в зовнішньому магнітному полі на 40%, причому величина ГМО та інших ефектів до великої міри залежить від концентрації (с) атомів Со.

У роботі [7] представлені комплексні дослідження мікроструктури і магнітоопору (МО) сплава , CoxAg1-x. Було отримано, що максимальне значення МО досягається при С = 23 ат.% Со. Згідно [35], в спін-клапанній структурі (Ni-Fe)/Au/Co/Au величина ГМО залежить від товщини шару Со досягає максимальне значення при dCo  0,5 – 0,6 нм, в той час як у гранульованому сплаві при С  25 - 35 ат.% Со, що якісно узгоджується з [7]. Ряд авторів (див., наприклад, [36]) спостерігали зменшення величини ГМО при збільшенні температури відпалювання, що спричиняє збільшення середнього розміру гранул Со. Важливо підкреслити, що в роботі [36] плівкові ГС отримувалися не шляхом одночасної конденсації компонент, а при зменшенні товщини шарів Cu і Co або в процесі високотемпературного відпалювання. Відмітимо, що у всіх наших дослідженнях [10, 12, 16, 17, 23, 25, 29] ми застосовували метод послідовної конденсації шарів з наступною, як і в [36], термообробкою. Таким методом ми отримували гранульовані тверді розчини (т.р.) (Cu, Co), (Ag, Co)та (Au, Co) або просто т.р. (-Fe, Cr).

Для конденсації плівок високовакуумна установка на основі магніто- розрядного насосу НМДО-160 (тиск залишкових газів ~ 10-5 Па). Для проведення електронографічних та електронно-мікроскопічних (прилад ПЕМ-125К), мас-спектрометричних (прилад МС7201М) та досліджень методом електроопору використовувалися підкладки (П) із плівок вуглецю, ситалу та скла відповідно. Товщина одно- і двошарових плівок вимірювалися високоточним методом кварцового резонатора з точністю ±0,1 нм. Термостабілізація плівкових зразків здійснювалася за схемою “нагрівання-охолодження” із швидкістю 2 – 3 К/хв. в інтервалі температур 300 – 700 К. Структурні дослідження проводилися після охолодження зразків до кімнатної температури.

Спільним для одношарових плівок, як компонентів двошарових, є те, що вони мають тип і параметри кристалічної гратки і, які відповідають масивним зразкам (ГЦК-Au, Ag i Cu; ОЦК-Cr i ?-Fe i ГЩП – ?-Co), причому плівки ?-Fe і ?-Co – нанокристалічні, а Au, Ag i Cu – крупнокристалічні. При термообробці фіксуються такі особливості. Термовідпалювання плівок Au i Ag навіть до не досить високих температур (Тв600 К) обумовлює інтенсивні рекристалізаційні процеси (середній розмір зерен збільшується приблизно у 5 – 6 разів), в той час як у плівках Cr і ?-Fe рекристалізація не відбувається. У невідпалених плівках ГЩП-Со утворюється велика кількість дефектів пакування, які є областями ГЦК-Со, що і фіксується на електронограмах у вигляді двох додаткових ліній з міжплощинними відстанями 2,04 і 1,8 нм. При відпалюванні дефекти пакування заліковуються, і, як результат цього, вказані лінії зникають.

Вивчення структурно-фазового стану (рис.1) двошарових плівок дозволяє зробити висновок стосовно можливої стабільності інтерфейсів, впливу на це дифузійних процесів та спрогнозувати фазові перетворення на випадок багатошарової плівкової системи (мультишару). Аналіз електронографічних даних свідчить про те, що двошарові зразки у вихідному стані двофазні (Au/Co, Au/Ag), тобто на дифракційних картинах спостерігається система кілець від обох шарів, або однофазні у вигляді т.р. (Cu, Co) та (?-Fe, Cr). Цей висновок корелює із даними про взаємну дифузію атомів, отриманих методом ВІМС (рис.2).

Однак, у плівкових системах Co/Cu, Co/Ag та Co/Au, які піддавалися термостабілізації в інтервалі температур 300 – 700 К, фазовий склад гетерогенний, оскільки в них відбувається утворення ГЦК-т.р. (Cu, Co), (Ag, Co) та (Au, Co), в об’ємі яких формуються наногранули із ГЩП-Со розміром 10 – 15 нм (рис. 1 е), які дають свої дифракційні відбиття у вигляді екстра рефлексів (рис.1 е, вставка).

Виходячи із характеру діаграм стану (Cu-Co), (Ag-Co) та (Au-Co) для масивних зразків, ми приходимо до висновку, як і автори [11, 37], про метастабільний характер плівкових т.р. Такий висновок у випадку плівкової системи Co/Cu обґрунтовувалася нами в одній із попередніх робіт [38] тією обставиною, що на електронограмах від відпалених, а потім охолоджених до кімнатної температури зразках фіксуються лінії ГЦК-т.р.(Cu, Co), ГЦК-Cu та, в залежності від загальної концентрації атомів Со, слабкі лінії або екстра- рефлекси від ГЩП-Со. Це можна трактувати як частковий розпад метастабільного т.р. (Cu, Co), в результаті чого на основі гранул формуються кристаліти ГЩП-Со із атомів, які були розчинені в матриці Cu, а також надлишкових атомів, які локалізувалися межах зерен у квазіаморфному стані. Наявність або відсутність ліній від ГЦК-Cu повністю залежить від товщини плівки Cu, тобто при відносно малих концентраціях атомів Со можуть існувати кристаліти Cu, які будуть суттєво збіднені на ці атоми (рис.1 ж відповідає



Рис.1. Кристалічна структура двошарових плівок Au(20)/Co(20)/П (а-г), Со(20)/Ag(60)/П (д, е), Cr(30)/Fe(30)/П (є) та Co(5)/Cu(10)/П (є) у невідпаленому (а, в, д, є) та відпаленому до Тв600 – 650 К (б, г, е, ж). У дужках вказана товщина в нм



Рис.2. Дифузійні профілі відносної концентрації атомів для плівкових систем Ag(30)/Co(30)/П(а), Ag(20)/Co(10)/П (б) та Au(50)/Co(40)/П (в) до (а) та після (б, в) термообробки до Тв700 К: ○ – Со, ? - Ag та ? - Au. МП – межа поділу шарів, Со – відповідає максимальному виходу вторинних іонів на межі вакуум/верхній шар або нижній шар / П


такому співвідношенню концентрацій атомів Со і Cu, коли кристаліти Cu відсутні). Крім цього зауважимо, що у зразках Со/Cu, які пройшли високотемпературне відпалювання при Тв = 700 – 900 К, на електронограмах поряд із лініями ГЩП-Со спостерігаються також лінії ГЦК-Со [38].

Приклад розрахунку електронограми від плівкової системи Au/Co/П представлена в таблиці 1 (для систем Co/Cu і Co/Ag таблиці мають аналогічний характер). Наявність слабих ліній від ГЩП-Со свідчить про стабілізацію гранульованого стану. На основі таких результатів нами були отримані узагальнені залежності параметра гратки т.р. від залежної концентрації атомів Со у плівковій системі (рис.3), яка визначається за співвідношенням


, (1)


де Di та ?i – густина і молярна маса і-го шару (і = 1, 2).

  1   2   3   4

Схожі:

Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconPacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем
С.І. Проценко, І. В. Чешко, Д. В. Великодний, І. В. Пазуха, Л. В. Однодворець, І. Ю. Проценко, О. В. Синашенко
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconЗвіт про науково дослідну роботу електрофізичні властивості багатокомпонентних плівок на основі fe І pd, Ag, Au та ge Етап 1 електрофізичні властивості плівкових систем на основі fe І pd (проміжний)
Мета роботи – вивчення фазових перетворень при термовідпалюванні одношарових плівок Pd І fe та багатошарових плівкових систем Fe/Pd,...
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconСтруктурно-фазовий стан нанокристалічних плівкових структур gd/Fe
У роботі представлені результати вивчення фазового стану та особливостей мікроструктури плівкових систем Gd(10)/п І
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconСтруктура, дифузійні процеси І магніторезистивні та електрофізичні властивості плівкових матеріалів монографія За загальною редакцією проф. Проценка І. Ю
А експериментальні й теоретичні результати авторів стосовно взаємного зв’язку між магніторезистивними та електрофізичними властивостями...
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconСтруктура, дифузійні процеси І магніторезистивні та електрофізичні властивості плівкових матеріалів монографія За загальною редакцією проф. Проценка І. Ю
А експериментальні й теоретичні результати авторів стосовно взаємного зв’язку між магніторезистивними та електрофізичними властивостями...
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconВплив інтерфейсного розсіювання на електрофізичні властивості плівкових матеріалів І. М. Пазуха, аспірант; С.І. Проценко, ст викладач
Вплив інтерфейсного розсіювання на електрофізичні властивості плівкових матеріалів
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconСумський державний університет На правах рукопису Гричановська Тетяна Михайлівна удк 621. 316. 8 Електрофізичні властивості дисперсних матеріалів на основі плівок V, Ti, Cr, Cu та ni
Електрофізичні властивості дисперсних матеріалів на основі плівок V, Ti, Cr, Cu та ni
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconПрограма фахового іспиту
Отримання деревної волокнистої сировини. Технологічний процес виготовлення паперу. Структурно-розмірні властивості. Механічні властивості....
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconПрограма фахового іспиту
Отримання деревної волокнистої сировини. Технологічний процес виготовлення паперу. Структурно-розмірні властивості. Механічні властивості....
Pacs numbers: Структурно-фазовий стан, стабільність інтерфейсів та електрофізичні властивості двошарових плівкових систем iconС. В. Іванов, д-р хім наук В. В. Єфіменко В. Ф. Новікова
Розглянуто вплив розчиненого кисню на експлуатаційні властивості реактивних палив: термоокиснювальну стабільність, пожежовибухонебезпечність,...
Додайте кнопку на своєму сайті:
Документи


База даних захищена авторським правом ©zavantag.com 2000-2013
При копіюванні матеріалу обов'язкове зазначення активного посилання відкритою для індексації.
звернутися до адміністрації
Документи