Сичікова Я. О., Дем'яненко-Мамонова В. О., Дяденчук А. Ф
Скачати 15.24 Kb.
|
|
УДК 621.315.592; 535.37 Сичікова Я.О., Дем'яненко-Мамонова В.О., Дяденчук А.Ф. м. Бердянськ МЕТОДИКА ОТРИМАННЯ НАНОСТРУКТУР МЕТОДОМ ЕЛЕКТРОХІМІЧНОГО ТРАВЛЕННЯ На сучасному етапі розвитку все гостріше постає питання про необхідність отримання поруватих шарів напівпровідникових структур n- та р-типу, дослідження умов їх формування. Залишаються невирішеними питання, що пов’язані з методами отримання таких структур. Найефективніший та простіший метод одержання поруватих наноструктур – просте електрохімічне травлення. Процес проводять у тефлоновій або фторопластовій комірці, що наповнена розчином електроліту. Тефлон використовують завдяки властивості хімічної стійкості до плавикової кислоти. У якості катоду використовують, як правило, платину. Пластину напівпровідника (анод поміщують паралельно катоду для рівномірності проходження струму. На рис. 1 зображено типові варіанти будови пристрою.  Рис. 1. Схема пристрою для анодування кристалів: а) вертикальна однокомірчаста ванна; в) бокова однокомірчаста ванна; с) бокова двохкомірчаста ванна. Гумові прокладки використовуються для уникнення розливу електроліту1 Слід зазначити, що це спрощений прилад. Для більш якісного травлення застосовують трьох- або чотирьохелектродні комірки. На рис. 2 наведено схему трьохелектродної комірки, яку використовують при виготовленні пористих напівпровідників, коли зразок 2 кріпиться до робочого електрода 1. Контрелектрод 3 замикає електричне коло через потенціостат. Електрод порівняння 4 використовується для контролю потенціалу робочого електрода.  Рис. 2. Схема стандартної трьохелектродної комірки: 1 – робочий електрод, 2 – напівпровідник, 3 – проти електрод, 4 – електрод порівняння, 5 – електроліт. Формування пор є складним процесом, який залежить від багатьох факторів, тому формування представляється цікавим пошук оптимальних умов для отримання якісних поруватих наноструктур. В роботі проаналізовано фізико-технологічні аспекти отримання та аналізу властивостей поруватих шарів фосфіду індію отриманих методом електролітичного травлення. |
