Скачати 9.2 Kb.
|
ПЕРЕЛІК питань, що виноситься на 1й модульний контроль знань з дисципліни «Основи пучкових та плазмових технологій» 1. Іонно-плазмові методи отримання покриттів. Катодне розпилення. Схема і принцип роботи установки для катодного розпилення. Переваги та недоліки методу. 2. Іонно-плазмові методи отримання покриттів. Трьохелектродна схема розпилення. Схема і принцип роботи трьохелектродної установки. Переваги та недоліки методу. 3. Іонно-плазмові методи отримання покриттів. Високочастотне розпилення. Схема і принцип роботи установки для високочастотного розпилення. Переваги та недоліки методу. 4. Іонно-плазмові методи отримання покриттів. Реактивне розпилення. 5. Іонно-плазмові методи отримання покриттів. Магнетронне розпилення. 6. Іонно-проминеві методи отримання тонких плівок. 7. Молекулярно-променева епітаксія. 8. Лазерне розпилення |