Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" icon

Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом "Електронні пристрої та системи"




НазваНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом "Електронні пристрої та системи"
Сторінка1/19
Дата15.05.2013
Розмір2.06 Mb.
ТипНавчальний посібник
  1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   19


МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ

СУМСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ УНІВЕРСИТЕТ


ПРОЦЕНКО І.Ю., ЧОРНОУС А.М.,

ПРОЦЕНКО С.І.


ПРИЛАДИ І МЕТОДИ ДОСЛІДЖЕННЯ ПЛІВКОВИХ МАТЕРІАЛІВ


Рекомендовано Міністерством освіти і науки України як навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом “Електронні пристрої та системи”


Суми

Вид-во СумДУ

2007

УДК 621.385.833(075.8)

П 84


Рекомендовано Міністерством освіти і науки України

(лист № 14/18–Г–2135 від 30 листопада 2007 р.)


Рецензенти:

д-р фіз.-мат. наук, проф. Г.С. Воробйов

(Сумський державний університет);

д-р фіз.-мат. наук, проф. М.О. Галущак

(НТУ нафти і газу, м. Івано-Франківськ);

канд. техн. наук, доц. С.П. Зелев

(ВАТ «СЕЛМІ», м. Суми)


^ Проценко І.Ю., Чорноус А.М., Проценко С.І.

П 84 Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів /За загальною редакцією проф. І.Ю. Проценка: Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2007.-264 с.

ISBN 978-966-657-157-4


У навчальному посібнику розглянуті питання будови та принципу роботи електронно-променевих і спектральних приладів, таких, як просвічуючі та растрові електронні мікроскопи, електронографи, рентгенівські апарати, прилади мікрорентгенівського аналізу, оже-електронної спектроскопії та вторинно-іонної мас-спектрометрії. Викладені експериментальні методи дослідження кристалічної будови та хімічного й елементного складу плівкових матеріалів.

Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом “Електронні пристрої та системи”.


УДК 621.385.833(075.8)

© І.Ю. Проценко,

А.М. Чорноус,

С.І. Проценко

ISBN 978-966-657-157-4 © Вид-во СумДУ, 2007

ЗМІСТ

С.

Передмова 7

Частина 1 Будова та принцип роботи електронно-променевих приладів 8

Вступ 8

Розділ 1 Взаємодія пучка електронів з твердим тілом 9

1 Розсіювання пучка електронів 9

1.1 Поняття про розсіювання 9


1.2 Пружне розсіювання 11

1.3 Непружне розсіювання 11


2 Область взаємодії пучка електронів з твердим тілом 16

3 Відбиті електрони 25

3.1 Коефіцієнт відбиття 25

3.2 Залежність коефіцієнта відбиття від атомного номера 26

3.3 Залежність коефіцієнта відбиття від енергії та

кута нахилу пучка 27

3.4 Розподіл за енергіями, кутами та просторовий розподіл 28


4 Процеси, обумовлені непружним розсіюванням 31

4.1 Вторинні електрони 31

4.2 Безперервне рентгенівське випромінювання……...35

4.3 Характеристичне рентгенівське випромінювання 37

4.4 Оже-електрони 46

4.5 Катодолюмінесценція 49


5 Висновки 49

Задачі до розділу 1 51

Список літератури до розділу 1 55

Розділ 2 Конструкція та принцип роботи растрового електронного мікроскопа 56


1 Розвиток растрової електронної мікроскопії 56

2 Будова РЕМ 57

3 Побудова зображення 63

4 Збільшення 65

5 Глибина фокуса 67

6 Спотворення зображення 69


7 Детектори електронів 71

7.1 Детекторні системи типу сцинтилятор-фотопомножувач 72

7.2 Твердотільні детектори 74


7.3 Зразок у ролі детектора (струм мішені) 76

8 Детектори рентгенівського випромінювання 77

8.1 Спектрометр із дисперсією за довжинами хвиль 77

8.2 Рентгенівський спектрометр з дисперсією за

енергіями 81


9 Якість зображення 82

10 Методи оброблення сигналу 86

Список літератури до розділу 2 90

^ Розділ 3 Конструкція та принцип роботи просвічуючого електронного мікроскопа 91

1 Створення просвічуючого електронного мікроскопа 91

2 Ідеальне, або гаусівське, зображення 93

3 Дифракційний принцип формування зображення 99

4 Конструкція ПЕМ 103

5 Якість зображення 113

6 Калібрування ПЕМ 124

7 Режими роботи ПЕМ 129

Задачі до розділу 3 139

Список літератури до розділу 3 141

Розділ 4 Характеристика інших типів електронних

мікроскопів 142


1 Електронний мікроскоп із магнітостатичними лінзами 142

2 Просвічуючий електронний мікроскоп з електроста-

тичними лінзами 143

3 Відбиваючий та тіньовий електронні мікроскопи 146

4 Емісійні мікроскопи 147

5 Надвисоковольтний електронний мікроскоп 150

6 Скануючий тунельний мікроскоп 151

7 Скануючий атомно-силовий мікроскоп 156


Список літератури до розділу 4 159

^ Розділ 5 Підготовка зразка для електронно-мікро-

скопічних досліджень 160

1 Опорні сітки та плівки-підкладки 160


2 Метод реплік та відтінень 162

3 Робота з біологічними об’єктами 164

4 Виготовлення тонких зрізів за допомогою ультра-

мікротома 166

5 Приготування кристалічних об’єктів для дослід-

ження на просвіт 168

6 Особливості підготовки зразків для РЕМ 171


Список літератури до розділу 5 175

Частина 2 Використання електронно-променевих і спектральних приладів та методів дослідження плівкових матеріалів 176

Передмова 176


^ Розділ 6 Електронно-мікроскопічні та дифракційні

методи досліджень 178

Вступ 178

1 Режими роботи, типи та основні характеристики ПЕМ 180


2 Формування зображення в ПЕМ. Типи мікроскопіч-

них контрастів 181

2.1 Тіньовий контраст 182

2.2 Дифракційний контраст 183

2.3 Амплітудний і фазовий контрасти 192

3 Основи растрової електронної мікроскопії 193

3.1 Будова і принцип роботи, основні характеристики деяких РЕМ 193

3.2 Типи контрастів у РЕМ 195

3.3 Режими роботи РЕМ 199

4 Використання методів ПЕМ і РЕМ для дослідження кристалічної мікроструктури тонких плівок і покриттів 201

  1. Теоретичні та експериментальні основи електронографії.. 202

    1. Будова, загальна характеристика і принцип роботи

електронографа 202

    1. Основи електронографії 205

    2. Уявлення про дифракцію повільних електронів 214

6 Основи рентгеноструктурного аналізу 215

6.1 Конструкція і принцип роботи рентгенівського

дифрактометра 215

6.2 Основи рентгенографії 217

7 Задачі до розділу 6 220
  1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   19

Схожі:

Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом підготовки «Енергетичне машинобудування»
М48 Монтаж, експлуатація, обслуговування холодильних і теплонасосних установок: навчальний посібник
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом підготовки «Прикладне матеріалознавство»
О. Б. Гірін доктор технічних наук, професор двнз «Український державний хіміко-технологічний університет» (м. Дніпропетровськ)
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів медичних вищих навчальних закладів та лікарів-інтернів
Рекомендовано Центральним методичним кабінетом з вищої медичної освіти моз україни як навчальний посібник для студентів вищих медичних...
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів вищих медичних навчальних закладів IV рівня акредитації
Рекомендовано центральним методичним кабінетом з вищої медичної освіти моз україни як навчальний посібник для студентів вищих медичних...
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconС. В. Нестеренко Охорона праці в будівництві
С. В. Нестеренко. Охорона праці в будівництві.: Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів освіти, які навчаються...
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів
Рекомендовано Міністерством освіти і науки України для студентів вищих навчальних закладів
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconПрактикум з історії україни для студентів економічних спеціальностей вищих навчальних закладів
Рекомендовано Міністерством освіти І науки України як навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів (письмо №14/18...
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconМ. М. Поколодна, Л. Д. Божко туристське краєзнавство навчальний посібник
Рекомендовано Міністерством освіти І науки України, як навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів «Видавництво «Центр учбової літератури»
Текст] : навчальний посібник / [І. І. Д’яконова, М. І. Макаренко, Ф. О. Журавка та ін.]; за ред
Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом \"Електронні пристрої та системи\" iconНавчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів
Ч – 75 Проектний аналіз: Навчальний посібник. — Харків: Консум, 2003. Рис. 17. Табл. 27. Бібліогр.: 37 назв. — 228 с
Додайте кнопку на своєму сайті:
Документи


База даних захищена авторським правом ©zavantag.com 2000-2013
При копіюванні матеріалу обов'язкове зазначення активного посилання відкритою для індексації.
звернутися до адміністрації
Документи