|
 Сумський державний університет
На правах рукопису
Гричановська Тетяна Михайлівна
УДК 621.316.8
ЕЛЕКТРОФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ДИСПЕРСНИХ МАТЕРІАЛІВ НА ОСНОВІ ПЛІВОК V, Ti, Cr, Cu ТА Ni
01.04.07 – фізика твердого тіла
ДИСЕРТАЦІЯ
на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Науковий керівник
заслужений діяч науки і техніки України,
доктор фізико-математичних наук,
професор ^
СУМИ 2008
ЗМІСТ
стор.
| ВСТУП..................................................................………….………………...... ^ ..................................
1.1. Теоретичні моделі для температурного коефіцієнта опору плівок та їх
відповідність експериментальним результатам………………………………
1.1.1. Одношарові плівки ……………………………………………...…
1.1.2. Багатошарові плівкові системи……………………….…………...
1.2. Теоретичні моделі для коефіцієнта тензочутливості плівок та їх
відповідність експериментальним результатам……………………………..
1.2.1. Одношарові плівки.…………...........................................................
1.2.2. Багатошарові плівкові системи….……………………..................
Висновки до розділу 1...........................................................................................
РОЗДІЛ 2 Методика і техніка експерименту ...............................................................................................................
2.1. Обладнання для отримання тонкоплівкових зразків.……................
2.2. Методика дослідження електропровідності та тензочутливості.….......
2.3. Методика структурних досліджень і елементного складу………….......
Висновки до розділу 2 .............................................................................................................................................................................
РОЗДІЛ 3 Розмірні ефекти у температурному коефіцієнті опору...........
3.1. Формування фазового складу плівки……………………………………..
3.1.1. Одношарові плівки V, Ni, Ti, Cu i Cr................................................
3.1.2. Двошарові плівки на основі V, Ni, Ti, Cu i Cr …..………………..
3.2. Розмірна залежність температурного коефіцієнта опору….....................
3.2.1. Вплив елементного складу одношарової плівки на її електропровідність і температурний коефіцієнт опору..........................
3.2.2. Розрахунок внеску поверхневого та зерномежового розсіювання у величину температурного коефіцієнту опору.......................................
3.2.3. Розрахунок параметрів електроперенесення..................................
3.3. Температурні та розмірні ефекти в температурному коефіцієнті опору плівкових систем………………………………………………………….
3.3.1. Температурна залежність опору та температурного коефіцієнта опору двошарових плівок……………………………………………….
3.3.2. Апробація теоретичних моделей для температурного коефіцієнта опору……………………………………………..…………
Висновки до розділу 3.........................................................................................
РОЗДІЛ 4 Тензорезистивний ефект...............................................................
4.1. Експериментальні результати дослідження тензочутливості
4.1.1. Деформаційні залежності.........…....................................................
4.1.2. Розмірна залежність коефіцієнта тензочутливості одношарових плівок………………………………………………………………………
4.2. Тензорезистивні властивості плівкових систем……………….………...
4.2.1. Апробація феноменологічної моделі тензоефекту………………..
4.2.2. Урахування внеску деформаційних ефектів у величину коефіці- єнта тензочутливості……………………………………………………..
4.2.3. Температурна залежність коефіцієнта тензочутливості і можливості використання багатошарових плівкових систем як чутливих елементів датчиків…………………………………………….
Висновки до розділу 4.........................................................................................
ВИСНОВКИ........................................................................................................
ПРИМІТКИ........................................................................................................
^ .......................................................
|
4
9
9
9
12
19
19
26
30
31
31
35
39
48
49
49
49
64
70
72
78
85
90
90
97
109
110
110
110
116
121
121
125
134
142
143
146
147
|
|
