Скачати 1.54 Mb.
|
МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ ХАРКІВСЬКА НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ МІСЬКОГО ГОСПОДАРСТВА Є.В. ШЕПІЛКОКОНСПЕКТ ЛЕКЦІЙ З КУРСУ “ ЕЛЕКТРОТЕХНОЛОГІЧНІ УСТАНОВКИ ТА ПРИСТРОЇ. ВАКУУМНА ТЕХНІКА” (для студентів 3 курсу денної форми навчання спец.7.090605 “Світлотехніка і джерела світла”) ![]() ХАРКІВ - ХНАМГ- 2005 Конспект лекцій з курсу “Електротехнологічні установки та пристрої. Вакуумна техніка” (для студентів денної форми навчання спеціальності “Світлотехніка і джерела світла”, спеціалізації 7.090606). Авт. Є.В.Шепілко. - Харків: ХНАМГ, 2005. - 122 с. Автор: Є.В. Шепілко Рецензент: В.Я. Колот Рекомендовано кафедрою світлотехніки та джерел світла, протокол № 1 від 2 .10. 2004 р. ПЕРЕДМОВА ^ новому радіоактивному процесу …” П. А. Дірак “Фізичний вакуум – фундамент нашого світу, це ніщо, що породжує все. ” Д. фіз.-мат. наук Богдан Гнатик Вакуумна техніка є важливою спеціальною дисципліною в технічних навчальних закладах і її вивчення без систематичного курсу буде пов’язано з певними труднощами. Головна мета цього конспекта – допомогти студентам у вивченні курсу “Вакуумна техніка” і в отриманні навичок для виконання різних практично необхідних розрахунків. Слово “вакуум” у перекладі з латинської означає “пустота” і це дійсно справедливо у світлі нових досліджень і теорій. Але для розуміння питань дисципліни використовують визначення, що вакуумумом називають стан газу з тиском нижче атмосферного. Ясно, що таких станів газу може бути багато, тому умовно вакуум поділяють на такі ступені, як низький, середній, високий і надвисокий. Оскільки вакуум це – стан газу, то необхідно знати закони, за яким можуть змінюватися стани газу. У дисципліні “Вакуумна техніка” вивчаються техніка отримання і вимірювання вакууму, будова і розрахунок елементів та обладнання, з яких складаються вакуумні системи. Без використання вакуумної техніки неможливі як створення сучасних нових технологій, так і розвиток науково-технічного прогресу. Для полегшення вивчення курсу наведений матеріал розміщений у послідовності зростання складності. Лекція перша ^ 1.1. Поняття тиску і температури Будь-який стан газу характеризують в основному трьома параметрами: тиском, температурою і об’ємом. Зміна будь-якого з цих параметрів відповідає новому іншому станові газу. З механіки відомо, що тиском називають відношення сили, яка діє перпендикулярно до поверхні, до значення площі цієї поверхі: ![]() ![]() ![]() Поняття про температуру ми розуміємо інтуїтивно, відчуваючи різницю між гарячим і холодним тілом, а також знаємо, що при нагріванні тіло може змінювати свої фізичні властивості, наприклад, змінюються розмір, густина, оптичні якості і т.п.. Д Рис. 1.1ля обчислення температури була введена шкала таким чином. Шаровидну колбу ( рис. 1.1), що закінчувалась U-подібною трубкою, наповнили воднем, а в трубку помістили краплю ртуті. Такий прилад називається газовим термометром, а температурну шкалу отримали так: спочатку занурили колбу в лід, що тане, і відмітили положення, яке зайняла крапля ртуті, потім колбу занурили в киплячу воду і також відмітили положення краплі. Проміжок між крайніми положеннями краплі ртуті розділили на 100 однакових частин і кожну частину назвали градусом Цельсія, а всю шкалу, з початком 0![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ^ Вимірювання теператури можна виконувати ще за допомогою інших, ніж газовий термометр, приладів. Розглянемо два методи, які використовують у вакуумній техніці. ^ Відомо, що електричний опір металів зростає при збільшенні температури нагрівання і формула, яка показує цю залежність, є такою: ![]() де ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ^ Цей метод базується на використанні термопари. Термопарою називають два дротики з різних металів, що сукупно зварені з одного кінця і вільні з іншого. Експериментально відомо, що при нагріванні спаю на вільних кінцях термопари виникає електрорушійна сила, величина якої пропорційна різниці температур нагрітого спаю і вільних кінців, тому її називають термоелектрорушійною силою(Т.Е.Р.С.). Якщо точно знати температуру вільних кінців, то, вимірюючи Т.Е.Р.С., можна точно визначити температуру спаю. На використанні вимірювань температури нагрітого тіла за допомогою термопари у вакуумній техніці визначають тиск газу при низькому ступені вакууму. Термопари можуть бути вибрані такі: чиста платина і сплав платини з 10% родію – ця термопара дає Т.Е.Р.С. приблизно 1 мВ при різниці температур 100 ![]() ^ Газ - це стан речовини. Відомо, що перехід речовини з одного стану в інший визначається його температурою відносно критичної температури, тобто температури, вище якої речовина завжди буде знаходитися тільки у газоподібному стані. Газоподібна речовина називається газом, якщо її температура вище критичної, і називається парою, якщо її температура не перебільшує критичну. Наприклад, азот має критичну температуру -147 ![]() ![]() ![]() ^ Гази, в яких не враховується інша взаємодія між молекулами, ніж зіткнення, називаються ідеальними. Залежності між параметрами, що характеризують газ при зміні станів, були встановлені за допомогою експериментів ще в XVI ст . ^ Якщо температура і маса газу залишаються незмінними, то в будь-якому стані добуток тиску газу на на його об’єм є величиною також постійною: ![]() Цей закон ще називають ізотермічним, тобто таким, що відображує зміни в газі, які відбуваються при постійній температурі. Крива залежності ![]() ![]() ^ Якщо тиск і маса газу залишаються незмінними, то в будь-якому стані об’єм газу пропорційний його абсолютній температурі: ![]() Цей закон відображує зміни в газі, що відбуваються при незмінному тиску. Стала в рівнянні (1.4) відома і його наводять ще в такому вигляді: ![]() де ![]() ![]() ![]() ![]() ^ Якщо об’єм і маса газу залишаються незмінними, то в будь-якому стані тиск газу пропорційний його абсолютній температурі: ![]() тобто в будь-якому стані ![]() ^ Клапейрон (1840 р.) об’єднав окремі закони для ідеальних газів і отримав таку залежність: ![]() тобто встановив, що добуток тиску газу на об’єм в будь-якому стані пропорційний його температурі. Стала В – різна для різних газів. Менделеєв (1875 р.) показав, що це пов’язано з неодинаковістю молекул різних газів і визначив, що добуток ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() Його називають рівнянням (або об’єднаним газовим законом) Менделеєва – Клапейрона. Як видно з рівняння (1.8), кількість газу (масу газу) можна виражати як в кілограмах, кілограм-молекулах, так і в одиницях pV. Остання частіше використовується у вакуумній техніці. Дійсно, при Т = Const, матимемо ![]() де b - коефіцієнт пропорційності. ^ Зважаючи на уявлення, що газ – це сукупність великої кількості молекул, Авогадро показав, що в однакових об’ємах різних газів знаходиться однакове число молекул, якщо тиски і температура теж однакові. Оскільки рівняння Менделеєва – Клапейрона справедливе для будь-якого газу то дійсно, визначивши масу газа як добуток числа молекул N на масу однієї m, тобто M = N m, можна записати ![]() і зробити висновок, що число молекул будь-якого газу завжди пропорційне відношенню його молярної маси до маси одної молекули, тобто числу ![]() ![]() ![]() ![]() ^ Якщо в об’ємі знаходиться суміш з N газів, що хімічно не взаємодіють, то тиск суміші визначається за законом Дальтона – тиск суміші газів дорівнює сумі парціальних тисків кожного газу, що складає суміш: ![]() Парціальний тиск ![]() Дійсно, якщо визначити в одиницях pV масу суміші газу як суму мас окремих газів, що складають суміш, то матимемо ![]() після скорочення подібних отримаємо (1.11). Запитання для самоперевірки
Лекція друга ^ 2.1. Елементи молекулярно – кінетичної теорії газів. Основне рівняння молекулярно – кінетичної теорії Хоча будь-який газ виявляє себе завдяки тиску, закони ідеальних газів не дають можливості відповісти, що таке тиск газу і чим він викликається. На ці запитання допомагає відповісти молекулярно-кінетична теорія газів, яка будується на таких допущеннях: 1) газ – це сукупність окремих молекул, які знаходяться в безперервному і хаотичному русі; 2) взаємодіють молекули одна з одною тільки в результаті зіткнень, а тому траєкторія їх руху - це ламана лінія; 3) молекули наскільки малі, що їх можна вважати матеріальними точками; 4) газ є ізотропним середовищем, тобто в ньому немає будь-яких переважних напрямків. За основним рівнянням молекулярно-кінетичної теорії газів ![]() де n – концентрація молекул, тобто число молекул в одиниці об’єму; m – маса одній молекули газа; v ![]() ![]() Таким чином можна сказати, що тиск, за яким визначають наявність газу в будь-якому об’ємі - це середня сила, з якою молекули газа діють на одиницю площі стінки ємності, де він знаходиться . З молекулярно-кінетичної теорії газів відомо, що молекули мають багато ступенів свободи руху і на одну ступінь поступового руху припадає енергія, яка дорівнює kT/2. Тому повна середньоквадратична енергія поступового руху одної молекули W ![]() ![]() ![]() де k – постійна Больцмана (k ![]() ![]() ^ Враховуючи вирази (2.1) і (2.2), отримаємо рівняння Больцмана, яке фактично в іншій формі виражає об’єднаний газовий закон, але вже на основі молекулярно-кінетичної теорії: p= nkT . (2.3) Наслідком рівняння Больцмана є висновок, що молекулярна концентрація не залежить від природи газу ![]() а також можливість отримати співвідношення між густиною газу, його тиском і температурою ![]() ^ ![]() Ц Рис.2.1 е показує, що молекули в результаті свого руху здійснюють тиск, причому з одного боку вдвічі більший, ніж з іншого. ^ Якщо молекули газа знаходяться під дією сили тяжіння (або будь-якої центральної сили), то незважаючи на їх хаотичний рух вони не розлітаються у просторі, а утворюють газову оболонку (наприклад атмосферу Землі). У цьому випадку тиск газу змінюється залежно від висоти h над Землею. За теоремою Паскаля при збільшенні висоти на величину dh тиск зменшиться на ![]() Оскільки густина газу ![]() ![]() ![]() Після відокремлення змінних величин і проведення інтегрування, при припущенні, що сила земного тяготіння не змінюється, отримаємо залежність тиску газу від висоти над Землею: ![]() яка і називається барометричним рівнянням Больцмана; p ![]() Якщо тиск виразити через концентрацію молекул газа і взяти до уваги, що ![]() ![]() де n ![]() Оскільки рівняння (2.8) і (2.9) справедливі для будь-якого силового поля і не тільки для молекул газа, а й інших частинок, що рухаються хаотично, то його називають законом Больцмана або законом розподілу частинок, що знаходяться під дією силового поля. ^ Одним з положень молекулярно-кінетичної теорії є припущення, що молекули, з яких складається газ, рухаються хаотично і місцезнаходження будь-якої молекули має випадковий характер. Окрім цього молекули нічим не відрізняються одна від одної і їх дуже багато (наприклад в 1см ![]() ![]() Для визначення і розрахунку середніх величин, що характеризують великий ансамбль одиниць, для яких наведені положення задовольнюються, використовуються методи статистичних досліджень, тобто науки статистики. Статистика оперує такими величинами, як імовірність, флуктуація, функція статистичного розподілу, середні значення, то саме такими величинами і можна буде характеризувати газ. Будемо вважати, що всі напрями в газі рівноймовірні і тому молекули можуть мати швидкість v, що не залежить від напряму. Взаємодіють молекули тільки в результаті пружних зіткнень, а тому матимуть найрізніші швидкості як за напрямом, так і за величиною. Наше завдання полягає в тому, щоб знайти закон, за яким будуть розподілятися швидкості молекул газа. Позначимо в декартовій системі координат число молекул, швидкості яких в напрямі осі x лежать в межах від ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() Якщо введемо результуючу швидкість як ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() Єдиним рішенням цього рівняння буде функція ![]() ![]() ![]() Стала величина а є додатною, оскільки імовірність не може бути від’ємною. Тоді можна записати ![]() ![]() Будемо вважати, що при відповідних умовах в газі є загальна кількість молекул ^ . Тоді частина молекул від N, які мають швидкості в межах від ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() і в просторі швидкостей в декартових координатах це можна показати, як на рис. 2.2 , де певна частина молекул буде знаходитися у середині вказаного куба. ![]() Рис. 2.2 скільки всі напрями швидкостей рівноймовірні, то будуть ще молекули з таким ж швидкостями за величиною, але направлені за всіма напрямами. Щоб визначити загальне число молекул з такими швидкостями, необхідно підрахувати скільки молекул буде в кульовому шарі радіусом ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() а загальне число всіх молекул N з допущенням, що вони мають швидкості від ![]() ![]() ![]() ![]() Загальне число молекул газа можна визначити незалежно від цього, тоді з рівняння (2.12) знайдемо сталі а і b. Дійсно, інтеграл в (2.12) буде скінченним тільки за умови, що значення сталої b є від’ємним. Таким чином b<0. Окрім цього, показник експоненти повинен бути безрозмірним, а тому розмірність b має бути оберненою до ![]() ![]() ![]() Після проведення інтегрування в (2.12) при врахуванні, що ![]() а також, що після диференціювання інтеграла в (2.13) за параметром ![]() ![]() отримаємо 1= ![]() і визначимо сталу , тобто ![]() Підставляючи визначені сталі в (2.11), отримаємо ![]() Це рівняння називають максвелловським розподілом швидкостей газу у відповідному стані за визначеними значеннями u і N. Графік цього розподілу має такий вигляд, як на рис.2.3. ^ З графіка функціі видно, що вона має максимум при ![]() ![]() ![]() ![]() Середня квадратична швидкість молекул знаходиться за формулою ![]() ![]() а Рис. 2-3. середня арифметична швидкість молекул ![]() Рис. 2.3 ![]() ![]() Якщо вираз для найбільш ймовірної швидкості (2.15) підставимо в рівняння (2.14), то отримаємо в іншому вигляді функцію розподілу молекул за швидкостями, яка ще називається функцією Максвелла – Больцмана: ![]() При врахуванні, що кінетична енергія молекули це – ![]() отримаємо з (2.18) рівняння розподілу кінетичної енергії молекул: ![]() Запитання для самоперевірки
Лекція третя ^ ТЕЧІЯ ГАЗУ ЧЕРЕЗ ОТВІР У ТОНКІЙ СТІНЦІ. ЗАКОН ГРЕХЕМА 3. 1. Число молекул, що ударяються в стінку У вакуумній техніці в багатьох випадках необхідно визначити кількість молекул газу, що проникнуть за одиницю часу через якийсь отвір у стінці ємності, в якій знаходиться газ. Для цього необхідно знати кількість молекул газу, що ударяються за одиницю часу в одиницю площини стінки ємності, в якій знаходиться газ. Р ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() Д Рис. 3.1 війка в знаменнику показує, що тільки половина молекул спрямовується до кожної основи. Оскільки ![]() ![]() Замінимо середню квадратичну швидкість на середню арифметичну, тоді отримаємо ![]() Якщо враховувати, що не всі молекули спрямляються до основи перпендикулярно, а частина буде ударятися під всілякими кутами, то необхідно підкореневий вираз замінити на одиницю і остаточно отримаємо число молекул газу, що ударяються за одиницю часу в одиницю площини стінки ![]() Використовуючи рівняння Больцмана і формулу (2.20) матимемо, що ця кількість прямопропорційно залежить від тиску ![]() і маса молекул газу, що ударяються за одиницю часу у одиницю поверхні стінки ємності, в якій знаходиться газ буде дорівнювати ![]() ^ Незважаючи на хаотичність руху, відповідну частину свого шляху молекули газу проходять без зіткнень з іншими. Відстань, яку проходить молекула між двома послідовними зіткненнями, називають довжиною вільного пробігу молекули. Середня довжина всіх прямолінійних відрізків шляхів, які молекула проходить між двома послідовними зіткненнями, називається середньою довжиною вільного пробігу молекули. ![]() де ![]() ![]() Знову використовуючи рівняння Больцмана одержимо, що середня довжина вільного пробігу молекули залежить від тиску і температури, тобто визначається концентрацією газу ![]() Для скорочення записів вводять величину d ![]() ![]() При p = 1 Па і T = 273 К для повітря середня довжина вільного пробігу молекули ![]() ![]() ![]() ![]() Тоді при будь-яких інших тисках для повітря ![]() Під дією різних причин в газі можуть з’являтися вільні електрони, тобто додатково виникати електронний газ. Середня довжина вільного пробігу вільних електронів у газі ![]() тобто не залежить від їх концентрації і діаметра.
Явище протікання газу під впливом різниці тисків через малий отвір у тонкій стінці називають ефузією газа. Якщо в стінці є отвір (рис. 3.2), площа якого S, то маса газу (витрата газу), що проходить через цей отвір за одиницю часу, як це слідує з формули (3.3), буде дорівнювати ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() Якщо виразимо ![]() ![]() ![]() Я Рис. 3.2 кщо виразити витрату газа не в одиницях маси, а в одиницях об’єма за тиском ![]() ![]() Слід зазначити(будемо вважати, що отвір круглий, діаметром D) , що формули (3.11) і (3.12) справедливі, коли ![]() ![]() ![]() ![]() При ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() тобто об’єм газу, що пройде через отвір за тиском ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]()
Якщо температура газу різна по обидва боки від отвору (Т ![]() ![]() ![]() Явище зростання тиска в області, де газ має меншу температуру, в наслідок перетікання газу через отвір з області з більшою температурою називається термічною ефузією. Запитання для самоперевірки
5. Сформулюйте закон Грехема. 6. Що виникає внаслідок термічної ефузії? Лекція четверта ^ 4.1. Теплопровідність газів. Закон Фур’є Якщо в газі створити області з різною температурою, тобто нагріти якусь окрему частину об’єму і більше не підтримувати нагрівання, то з часом у всьому об’ємі температура підвищиться і вирівняється до однієї у будь-якій області. Тепло від області з більшою температурою буде переходити до області з меншою температурою доти, поки температура не вирівняється. Цей процес здійснюється завдяки хаотичному руху молекул газу і називається нестаціонарними. Якщо різниця температур постійно підтримується, то і перенос тепла буде відбуватися постійно, і такий процес називають стаціонарним. Розглянемо стаціонарний процес переносу тепла в газі, що знаходиться між двома паралельними пластинами з різними температурами і будемо вважати, що тепло переноситься тільки уздовж осі x. Здатність газу переносити теплоту називається теплопровідністю газу. Кількість теплоти, що переноситься газом за час ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() де ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() За молекулярно-кінетичною теорією ![]() ![]() де ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() Оскільки густина газу пропорційна тиску – ![]() ![]() При високому вакуумі число взаємних зіткнень молекул значно менше, ніж число зіткнень зі стінкою ємності, де знаходиться газ, тому збиток тепла нагрітого тіла і розміщеного в газі, що викликається молекулами, буде незначним і тоді потік тепла між нагрітим і холодним тілами (вважаємо, що це паралельні пластини) буде прямопропорційним тиску, тобто ![]() ![]() Дійсно, ![]() де ![]() ![]() ![]() ^ Дифузією називається фізичне явище проникнення двох або декількох стичних речовин одна в одну. Це явище є ще одним підтвердженням молекулярної будови речовин. Якщо з’єднати два або декілька газів, то з часом неоднорідна суміш перетвориться в однорідну, в якій кожний газ рівномірно розподілиться в іншому. Переміщення компоненти газа під дією різниці концентрацій називають дифузійним потоком цієї компоненти. Будемо вважати, що концентрація змінюється, наприклад, уздовж осі x. Закон Фіка стверджує, що дифузійний потік маси газу пропорційний градієнту густини і протікає в протилежному напрямі ![]() де ![]() ![]() ![]() Коефіцієнт дифузії ![]() ![]() ![]() тобто обернено пропорційний тиску (оскільки ![]() ![]() ![]() Якщо розглядається дифузія різних газів, то вводиться коефіцієнт взаємної дифузії ![]() де ![]() ![]() Якщо один з газів має малу концентрацію, наприклад, ![]() ![]() ![]() ![]() Формула (4.4) дозволяє визначити молекулярну швидкість ![]() Дійсно, ![]() ![]() Таким чином, якщо два гази дифундують в третій, то швидкості їх дифузії обернено пропорційні квадратному кореню з їх молекулярної ваги, тобто ![]() Легший газ швидше дифундує, ніж газ, який важчий. Отримана залежність важлива і використовується при конструюванні дифузійних насосів. ^ В’язкість газів - це фізичне явище, яке показує, що в газі є внутрішнє тертя. Справді, якщо здійснити обертання диска 1 (рис. 4.1), то побачимо, що підвішений на нитці кручення верхній диск 2 також з часом почне обертатися, тобто на нього почне діяти сила, яку переносять молекули газу від диска 1. Окрім цього потужність, яку треба витратити, щоб викликати обертання диска 1, буде меншою при відсутності газу. Таким чином в’язкість газів - це властивість вирівнювання швидкостей руху різних шарів газу. Будь-який вітер з часом стихає завдяки наявності внутрішнього тертя в газах. С ![]() ![]() д Рис. 4.1. е ![]() ![]() Знак “мінус” показує, що перенесення імпульсу відбувається до області, де менша швидкість газу. З причини внутрішнього тертя для забезпечення протікання газу через трубопровід необхідна різниця тисків, ![]() |
![]() | Конспект лекцій Шепілко. Конспект лекцій з дисципліни „Вакуумна техніка” (для студентів 3 курсу денної І заочної форм навчання напряму підготовки... | ![]() | Є. В. Шепілко методичні вказівки до виконання розрахунково Методичні вказівки до виконання розрахунково – графічної роботи з курсу “Вакуумна техніка” (для студентів 3 курсу денної І заочної... |
![]() | Міністерство освіти І науки, молоді та спорту України Вакуумна техніка” (для студентів 3 курсу денної І заочної форм навчання напряму підготовки 050701 „Електротехніка та електротехнології”... | ![]() | «Затверджую» Перший проректор Г. В. Стадник Світлотехніка І джерела світла у складі: проф., д т н. Назаренко Л. А., проф., д т н. Овчинников С. С., проф., к т н. Салтиков В.... |
![]() | Програма навчальної дисципліни та робоча програма навчальної дисципліни Електротехнічні пристрої світлотехнічних систем” (для студентів денної І заочної форм навчання освітньо-кваліфікаційного рівня бакалавр... | ![]() | Конспект лекцій з дисципліни «Електротехнічні пристрої світлотехнічних систем» «Електротехнічні пристрої світлотехнічних систем» (для студентів 4 курсу денної І заочної форм навчання за напрямом підготовки 050701... |
![]() | Вакуумна техніка” для студентів 2 курсу денної форми навчання Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт з курсу “Вакуумна техніка” ( для студентів 2 курсу денної форми навчання спеціальності... | ![]() | «Вакуумна техніка» для студентів 3 курсу денної І заочної форм навчання за напрямом підготовки «Вакуумна техніка» (для студентів 3 курсу денної І заочної форм навчання за напрямом підготовки 050701 „Електротехніка та електротехнології”... |
![]() | Електротехнічні пристрої світлотехнічних систем” для студентів 4 курсу денної І заочної форм навчання Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт з курсу “Електротехнічні пристрої світлотехнічних систем” (для студентів 4 курсу... | ![]() | Міністерство освіти І науки україни харківська національна академія міського господарства методичні вказівки до виконання курсового проекту з курсу “ електротехнологічні установки та пристрої. Вакуумна техніка” Методичні вказівки до виконання курсового проекту з курсу “Електротехнологічні установки та пристрої. Вакуумна техніка” ( для студентів... |